监察制度在人类社会发展史上不可或缺，经历了一个不断发展健全完善的过程，一定程度上发挥着整纲饬纪、纠慝绳诡的作用。
原始社会尚不存在成形的监察制度，对氏族首领的监督主要以舆论监督为主，包括谏鼓、谤木等在内的监督方式发挥了积极作用。有关文献不乏黄帝设立左右大监、尧设纳言、舜多次巡狩四方等记载。
周朝代商后监察制度逐步发展，通过朝觐、大计等多种方式监督诸侯与官员，专职负责监察的官员体系不断发展壮大。为加强对诸侯国的控制与监督，周天子除派驻官员外，继续通过巡狩实施对诸侯国的监督，“八骏日行三万里”巡察诸侯国。
春秋战国时期有的国家设置了负责监察的官员，一些诸侯君主也虚心纳谏，但监察制度总体处于萌芽状态，御史发挥着重要的监察作用。这一时期百家争鸣监察思想蓬勃发展，包括管仲、韩非等人的监察思想对后世的影响极为深远，在相当程度上推动了监察制度体系的健全完善。
秦统一天下后构建了以御史体系为主的监察制度。这种制度设计充分考虑了御史大夫与丞相相互制衡的需要，但秦朝延续年代过短，这种监察制度并没有得到充分的实践检验。虽然也设置了言谏体系，但秦始皇本人并不愿意接纳进谏。为加强地方监察，秦始皇屡次巡行天下，胡亥即位后也有巡行之举。
汉朝监察制度进一步发展，中央监察制度仍以御史体系为主，汉武帝时期为加强中央监察又设置司隶校尉与丞相司直。为加强地方监察，汉武帝推出刺史监察地方制度，以六百石刺史监察二千石以上官员，“以卑临尊”也成为延续至清末的重要监察原则。东汉初期监察官员地位空前提高，御史台也有乌台、柏台等别名。东汉末年废刺史制度而设州牧，地方政权不断坐大，是导致汉亡的重要原因之一。
曹魏监察制度进一步发展，曹操为加强监察设立校事与刺奸，卢洪与赵达曾任校事。当时号称“不畏曹公，但畏卢洪。卢洪尚可，赵达杀我”，可见校事之权势。司马懿诛曹爽后为争取士族支持而废校事。蜀国监察制度基本承袭汉代，但诸葛亮为争取门阀支持也有妄杀无辜官员之举。吴国也设校事，在强烈反对下也被迫取消。
两晋时期监察制度在皇权与门阀士族力量相互消长中艰难发展。监察范围逐步向财政、人事、军事等系统延伸，监察体系内部分工愈加细密，作为监察制度重要内容的言谏系统有所发展。这一时期玄学的发展以及佛教思想的发展对监察思想产生了一定的影响，监察立法进一步发展。
南北朝时期御史台职能不断扩张，监察范围不断拓展，监察制度在维护皇权等方面的作用日趋重要。在御史台外，尚书左丞亦负有对官员的监察之权。允许风闻奏事，即在没有确切证据的情况下可弹劾有关人员，后续不同朝代风闻奏事时许时废。监察官员权力的扩张容易引起激烈的政治斗争，孝文帝时期李彪担任御史中尉时被尚书左仆射李冲弹劾，郦道元作为治书侍御史也被株连。
隋朝监察系统真正独立，监察职能进一步增强。正式设立监察御史一职，至封建王朝结束监察御史在监察体系中发挥着重大的作用。成立司隶台与谒者台作为监察地方的机构，不断加强对州县巡视。进一步重视对监察官员的选拔、考核与激励，努力加强对监察官员的控制。
唐代监察制度发展到一个新高度，唐玄宗时期正式确立一台三院（御史台、台院、殿院、察院）体制。台院、殿院与察院三院相互配合各司其职，发挥了有效的监察作用。言谏制度进一步发展，有唐一代直谏名臣辈出，封驳制度逐趋完善。巡视制度进一步成熟，派黜陟使以察四方。监察官员为官雄峻为升迁之要道，许多宰相即由御史台长官直升。对监察官员的选拔进一步健全完善，许多监察官员也是有名的诗人，如王维、白居易、杜牧等。晚唐藩镇割据监察制度逐步衰落，一定程度上加剧了唐朝的覆亡。
五代十国时期监察制度基本处于无序状态。武臣专权在军权下出现另一套军队监察体系，扰乱了监察制度正常发挥作用。虽然这一时期仍然有御史台、门下省之谏官系统，但作用极为有限。
宋代监察制度为维护皇权发挥了重要作用。谏官从以前进谏皇帝为主转变为以监督相权为主，有效限制了宰相权力，宰相被弹劾一般均要辞职。御史台作用得到发挥的同时，言谏系统进一步发展，逐步呈现台谏合一趋势。地方监察制度进一步发展，监司、通判多头监察，这影响到监察效率。监察官员的管理与选拔更加重视，出台了一系列完善的管理制度。
元初极为重视监察制度，将御史台视为医治“左右手”即中书省与枢密院的重要工具，大幅提升监察官员职级。中央御史台主要长官基本均为蒙古人，唯一汉人长官还改为蒙古名姓。由于疆域过大，在地方设立二行御史台作为中央御史台的派出机构，并设立肃政廉访司作为专门的地方监察机构。对监察官员的选拔进一步严格，制定了严格的考察制度。监察思想进一步发展，张养浩所著《风宪忠告》集中论述了监察官员应具备的修养以及监察应奉行的原则。
明初设御史台，后改御史台为都察院。不断扩大监察职能，设立六科给事中有效加强中央监察，设立十三道监察御史努力加强中央与地方监察。进一步提升监察官员职级，都察院长官与六部长官合称七卿。巡按御史“代天巡狩如朕亲临”在加强地方监察方面发挥了积极作用，设立巡抚与总督以充分加强对地方监察。监察法规进一步发展，对监察官员选拔与激励等做出了明确规定。监察官员对维护封建制度运行发挥了重要作用，在政治斗争中也充当了打手的角色。
清代都察院作为中央监察主要机关，六科给事中、十五道监察御史等监察官员共同发挥了重大作用，在不同时期的重大事件中均有其身影。雍正时期六科给事中正式并入都察院，言谏系统正式消失。地方监察上总督与巡抚兼任都察院长官，同时设立按察使等官员不断加强地方监察。监察法规不断健全完善，颁布《钦定台规》在制度上进一步确立监察系统的地位与作用，加强监察官员的选拔、考核与管理。较多名臣均有担任御史的经历，也涌现出诸多不畏权势的监察官员。
总体而言监察制度经历了一个不断健全完善的过程，虽然在不同时期发挥的作用不同，但一定程度上发挥了整纲饬纪、纠慝绳诡的作用，监察制度对维护封建制度的运行不可或缺。而监察制度的最终效果，主要取决于皇权的强弱，以及君主主观加强监察的努力，包括监察制度的不断健全完善等，同时监察官员自身的职业操守与专业能力也是影响监察制度发挥作用的重要因素。
